高温動作Pd.AlGaN.GaN構造水素ガスセンサの検知特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS09018

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　ケミカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Sensing properties of Pd.AlGaN.GaN-based hydrogen sensors operating at high temperature

著者名: 中村 成志(首都大学東京),大園 智章(首都大学東京),高橋 紀行(首都大学東京),奥村 次徳(首都大学東京)

著者名(英語): Seiji Nakamura(Tokyo Metropolitan University),Tomoaki Ohsono(Tokyo Metropolitan University),Noriyuki Takahashi(Tokyo Metropolitan University),Tsugunori Okumura(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 高温動作|水素ガスセンサ|高電子移動度トランジスタ|パラジウム|窒化ガリウム|high-temperature operation|hydrogen gas sensors|high electron mobility transistors|palladium|gallium nitride

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 486 Kバイト