水晶振動子ガスセンサ応答波形解析とその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS10002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Response analysis of QCM gas sensor and its applications

著者名: 齋藤 敦史(芝浦工業大学)

著者名(英語): Saitoh Atsushi(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 水晶振動子|ガスセンサ|応答波形解析|Quartz crystal resonator|gas sensor|response analysis

要約(日本語): 水晶振動子ガスセンサは素子表面へのガス分子吸着現象を利用しているためその応答特性はガス分子吸着特性によって決定される．本報告ではセンサの評価に有効であると思われるガス分子吸着特性を抽出するためにセンサ応答波形をLangmuir吸着理論に基づいて解析した結果について述べる．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 641 Kバイト