白金薄膜の水素応答特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS10004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Hydrogen Response Characteristic of Platinum Tin Film

著者名: 水原 宏平(岡山大学),片山 文哉(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Mizuhara Kohei(Okayama University),Katayama Fumiya(Okayama University),Kiwa Tosihiko(Okayama University),Tukada Keiji(Okayama University)

キーワード: 水素センサ|白金|水素応答特性|インピーダンス|表面構造|hydrogen sensor|platinum|impedance|surface structure|hydrogen response characteristic

要約(日本語): 水素センサの基礎特性評価として白金薄膜の水素濃度に対する抵抗変化を評価した。各種製造方法と膜厚が異なる白金をガラス基板上に成膜した試料を作成した。各種水素濃度に対して直流から交流における白金のインピーダンス応答を測定した。その結果、白金薄膜のインピーダンスは水素濃度によって変化することが分かり、また白金の表面構造の違いは水素応答に影響を及ぼすことを明らかにした。

要約(英語): We have evaluated impedance change of a platinum thin film to hydrogen concentration change to study for basic characteristic hydrogen sensor. We measured impedance characteristic of platinum films. As the result, the impedance of the platinum films showed response to hydrogen concentration change and the surface structure dependence.

原稿種別: 日本語

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