種々のヒーター入力時のガスセンサの過渡応答

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS10005

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2010/06/17

タイトル(英語): Transient Response of Semiconductor Gas Sensor under Heter Input with Various Waveforms

著者名: 栗塚 翔太(和歌山工業高等専門学校),大谷 龍輝(和歌山工業高等専門学校),藤本 晶(和歌山工業高等専門学校)

著者名(英語): Kurizuka Shohta(Wakayama National College of Technology),Ohtani tatsuki(Wakayama National College of Technology),Fujimoto Akira(Wakayama National College of Technology)

キーワード: ガスセンサ|過渡応答|計算モデル|ヒーター変調|gas sensor|transient response|calculation model|heter modulation

要約(日本語): ガスの種類を識別に利用するため，半導体ガスセンサの過渡応答の計算モデルを作成し，計算結果と実験結果との比較を行った。これまでに方形波入力に対する過渡応答において計算値と実験値が良く一致する事を確認している。ここでは種々の波形に対する過渡応答の計算値と実験値との比較を行い，半導体ガスセンサの過渡応答計算モデルの正確さを検証する。

要約(英語): Calculated responses of semiconductor gas sensor using transient response model of semiconductor gas sensor were compared with experimental responses. The calculated responses agreed well with experimental responses under rectangular heater input. In this work we compare the calculated responses with experimental responses with various waveforms of heater input to confirm the accuracy of the model.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 545 Kバイト