半導体薄膜を用いたエチレンセンサの低ガス濃度域における感度改善

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS10018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2010/09/28

タイトル(英語): Highly sensitive ethylen sensors using semiconducting thin film

著者名: 秋山 友(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Tomo Akiyama(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: エチレンセンサ|ニッケル|多孔質アルミナ|半導体薄膜|低ガス濃度|ethylene sensor|nickel|porous alumina|semiconducting thin-film|low gas concentration

要約(日本語): 本研究では、スパッタリング法を用いて半導体薄膜を堆積させ、多孔質アルミナにNi触媒を堆積させた触媒フィルタを用いて、エチレンに対する感度と選択性を向上させたエチレンセンサを開発した。また、エチレンガスが低濃度の場合の感度及び選択性の改善の結果を示す。

要約(英語): A Ni-deposited porous filter is used to improve the sensitivity of ethylen sensors using semiconducting thin film. The sensitivity of the Ni catalyst sensor at low gas concentration has much increased compared with that of the Pd catalyst one.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 474 Kバイト