VCSELを用いた高感度型ガスセンサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS10022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2010/09/28

タイトル(英語): Development of high sensitive measurement gas sensor using a vertical-cavity-surface-emitting-laser diode

著者名: 野田 和俊(産業技術総合研究所),覚間 誠一(北海道大学)

著者名(英語): Kazutoshi Noda(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Seiichi Kakuma(Hokkaido University)

キーワード: ガス|センサ|メタン|赤外線|吸光度|gas|sensor|methane|infrared|absorbance

要約(日本語): 需要が高まっているメタンガスは引火、爆発の危険性が非常に大きいことから、適切なガス管理を行うために高精度かつ高感度なメタンガス濃度センサが必要とされている。そこで、我々は赤外線吸収式ガス濃度測定法を用いた高感度型のメタンガス濃度センサを開発した。このセンサは、光源に単一モード発振する1600nm帯の面発光レーザを使用した。実験の結果、0.1%分解能で高感度測定が可能であることが示された。

要約(英語): We develop the practical and high sensitive equipment for measuring methane gas concentration based on IR absorption by sweeping the 1600nm wavelength of light emitted from a vertical-cavity surface- emitting laser diode (VCSEL). The method can measure the concentration with a resolution better than 0.1%, and is immune to the wavelength drift of the light source.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,203 Kバイト