シリコンカンチレバー質量センサにおける温度依存性の解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS11004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2011/06/30

タイトル(英語): Analysis of temperature effects on silicon cantilever resonant mass sensor

著者名: 池原 毅(産業技術総合研究所),昆野 舜夫(産業技術総合研究所),村上 直(産業技術総合研究所),三原 孝士(オリンパス)

著者名(英語): Ikehara Tsuyoshi(AIST),Konno Mitsuo(AIST),Murakami Sunao(AIST),Mihara Takashi(Olympus)

キーワード: カンチレバー|化学センサ|共振周波数|温度依存性|発振回路|シリコン|cantilever|chemical sensor|resonant frequency|temperature dependence|oscillation circuit|silicon

要約(日本語): 共振周波数検出を行うシリコンカンチレバー質量センサでは、材料の特性により共振周波数の温度依存性が比較的大きい。このセンサを使って自励発振させた発振器を構成した場合、その温度依存性はカンチレバーセンサ単体の温度依存性とは異なる結果が得られた。発振回路も含めた温度依存性について解析を行い、温度依存性の要因についてセンサ本体と発振回路の分離を試みた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 722 Kバイト