水晶振動子を利用したスマートパーティクルセンサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS13022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2013/10/11

タイトル(英語): Development of smart particle measurement sensor using a quartz crystal microbalance

著者名: 野田 和俊(産業技術総合研究所)

著者名(英語): NODA KAZUTOSHI(National Institute of Advanced Science and Technology)

キーワード: 水晶振動子|粉じん|センサ|パーティクル|ＰＭ２．５|quartz crystal microbalance|particle|sensor|PM2.5|QCM

要約(日本語): PM2.5など大気中の浮遊微小粒子状物質（SPM）に関する社会問題化がある。現在、SPM濃度を測定する方法として、光散乱式やローボリウムエアサンプラなどが使用されている。ここでは、極微量質量変化測定が可能な水晶振動子を利用したセンサを開発した。捕集用検知膜を利用した水晶振動子によるSPM測定手法の基本検知特性を明らかにし、捕集効率は必ずしも十分ではないが、コロナ放電などの特別な付加装置を使用しなくてもナノグラム単位のSPMを捕集し測定可能であることが示された。

要約(英語): A highly sensitive detecting method for suspended particulate matter using quartz crystal microbalance was newly developed. In the method, suspended particulate matter adsorbs directly with various thin films on the quartz crystal surface to form compound, and then oscillator frequency of the quartz crystal microbalance is decreased due to the mass changes of the electrode. The new method enables the measurement of low concentrations.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 634 Kバイト