実装性に優れたサーモグラビメトリー用QCMの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS14014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2014/05/28

タイトル(英語): Development of a QCM-based Thermogravimetric Sensor Suitable for Assembly

著者名: 斎 直杜(新潟大学),飯田 尚之(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Sai Naoto(Niigata University),Iida Naoyuki(Niigata University),Sohgawa Masayuki(Niigata University),Abe Takashi(Niigata University)

キーワード: ＱＣＭ|サーモグラビメトリー|QCM|Thermogravimetry

要約(日本語): 本研究では，片面に配線を集約した実装性に優れたサーモグラビメトリー用QCMの開発を行った．作製したセンサを用いて，メタノール，エタノールを気化させたガスで計測を行ったところ，周波数変化の微分値で異なる脱離スペクトルを得ることができた．今後，本センサを用いて簡易に実装可能で，かつ単純な信号処理による匂い物質の脱離スペクトルの計測が期待できる．

要約(英語): In this paper, we propose a QCM-based thermogravimetric sensor suitable for assembly. This sensor has QCM array for measuring mass changes and a microheater for the temperature elevation. The each QCM has an electrode for exciting thickness shear mode vibration on the back side of the wafer. All the electrode pads were patterned on the back side of the wafer. Therefore, this sensor is suitable for assembly and user-friendly. The thermal desorption spectra were calculated by differentiating the frequency changes. We can discriminate methanol from ethanol by the thermal desorption spectra. In the near future, this sensor can be expected to be used for a thermogravimetric analytical system.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,391 Kバイト