オゾン処理及びZnOナノ粒子修飾によるカーボンナノチューブNO２センサのNO２検出感度向上

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS15021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2015/07/03

タイトル(英語): Detection sensitivity enhancement of ZnO-decorated CNT NO2 sensor by using ozone treatment

著者名: 熊 暁(九州大学),井上 翔太(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): XIAO XIONG(Kyushu University),SHOTA INOUE(Kyushu University),MICHIHIKO NAKANO(Kyushu University),JUNYA SUEHIRO(Kyushu University)

キーワード: カーボンナノチューブ|ガスセンサ|二酸化窒素|CNT|gas senor|NO2

要約(日本語): ZnOナノ粒子修飾CNTをガスセンサによる二酸化窒素応答には、CNTとZnOナノ粒子のヘテロ接合部の抵抗変化が大きく関与している。したがって、ヘテロ接合部をさらに増やすことで、更なる高感度化が可能となる。筆者らは、半導体 CNT表面に格子欠陥を導入することを目的として、オゾン処理酸化処理を行った。本研究では、CNTの表面欠陥を増やしたことで、CNTとZnOナノ粒子の化学的結合がより多く形成され、二酸化窒素応答は顕著になった。

要約(英語): To NO2 response by the ZnO-decorated CNT gas sensor, resistance change of the CNT and ZnO nanoparticles’ hetero junction part are greatly involved. In this research, we successfully introduced the defects into CNTs by ozone treatment, and enhanced the performance of ZnO-decorated CNT gas sensor response exposed to NO2 gas.

原稿種別: 英語

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