La2O3を堆積した多孔質アルミナを用いた多層半導体薄膜CO2センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS16022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): CO2 sensor using double-layered thin film and La2O3 deposited porous alumina

著者名: 三井 惠一(東京電機大学),高橋 拓也(東京電機大学),山口 富治(東京電機大学),原 和博(東京電機大学)

著者名(英語): Keiichi Mitsui(Tokyo Denki University),Takuya Takahashi(Tokyo Denki University),Tomiharu Yamaguchi(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: 二酸化炭素|酸化ランタン|半導体式ガスセンサ|多孔質アルミナ|CO2|La2O3| Semiconductor gas sensor|Porous alumina

要約(日本語): 現在、CO2を測定する際に、一般的には高価な赤外分光法を用いて測定を行っているが、本研究においては、安価、小型、軽量である半導体式薄膜CO2ガスセンサを開発した。SnO2系、およびFe2O3系を使用した二層半導体薄膜と、La2O3を触媒層として堆積させた多孔質アルミナを用いたセンサを開発し、1000[ppm]程度のCO2ガスに対して感度を得ることができた。

要約(英語): CO2 is usually measured by using an expensive instrument based on infrared spectroscopy. In this study, low-cost, small, and light-weighted CO2 gas sensor using semiconductor thin-film and catalyst. The sensing film has a double layered structure:the first layer is Fe2O3+TiO2+MgO, and the second layer is WO3+TiO2. La2O3 is deposited on a porous alumina and used as catalyst. The sensor is capable of detecting CO2 at a concentration of 1000 ppm.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,300 Kバイト