対面型触媒を用いた多層薄膜酢酸エチルセンサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS16023

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): Ethyl acetate sensor using multilayered thin film and face-to-face type catalyst

著者名: 中島 崚(東京電機大学),山口 富治(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): RYO NAKAJIMA(TOKYO DENKI UNIVERSITY),TOMIHARU YAMAGUCHI(TOKYO DENKI UNIVERSITY),KAZUHIRO HARA(TOKYO DENKI UNIVERSITY)

キーワード: 酢酸エチル|Ｉｎ２Ｏ３|Ｒｈ|多層薄膜|においセンサ|ethyl acetate|In2O3|Rh|multilayered thin film|odor sensor

要約(日本語): 特定悪臭物質の一つにも指定される酢酸エチルを検知するセンサとしては安価に作製が可能であり、堅牢であるため量産に向いている半導体薄膜センサが挙げられるが、特定のガスのみ検知する能力であるガス選択性に欠点があるため、これの改善が課題となる。本研究ではこれの改善策として、対面型のRh触媒と、In2O3系およびFe2O3系薄膜を用いた多層薄膜センサを開発した。開発したセンサは濃度1[ppm]の酢酸エチルの検知が可能であった。

要約(英語): Semiconductor thin film gas sensors are suitable for detecting ethyl acetate designated as one of the specified odor substances due to easy fabrication and high robustness. Thus, we developed a novel ethyl acetate sensor with the improved gas selectivity. This sensor has a face-to-face type Rh catalyst and a multilayered thin film composed of In2O3 ? based and Fe2O3 ?based films and can detect ethyl acetate at a concentration of 1 ppm.

原稿種別: 日本語

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