PM2.5を検出するマイクロセンサの研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS16025

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): Study of micro- sensor for detecting PM2.5

著者名: 神保 直道(東京電機大学),山口 富治(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Naomichi Jimbo(Tokyo Denki University),Tomiharu Ymaguchi(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: ＭＥＭＳ|ＰＭ２．５|金属酸化物|多層薄膜|MEMS|PM2.5|metal oxide|made of multi layered

要約(日本語): 本研究では、ポータブルデバイスやウェアラブル検出器、複合センサとしての応用を目的とし、MEMS型センサの開発を行った。センサはPM2.5の検出を目標とし、センサ膜を金属酸化物の多層薄膜を用いて作製した。センサ膜の温度は約210℃に保ち、電気抵抗値の変化を測定した。被測定物として、ディーゼル発電機から発生する粒子（DPM）を用いて測定を行い、その結果、MEMS型センサによるDPMに対する応答を得ることができた。

要約(英語): We have developed a MEMS-based sensor for detecting PM2.5. The sensing film is made of multi layered metal oxide and is heated at 210℃. The change of its electrical resistance is measured.The sensor shows high response to the particles generated from the diesel generator (DPM).

原稿種別: 日本語

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