軸受け機構を導入したMEMSエアタービンと積層セラミック磁気回路を組み合わせた5mm角サイズの電磁誘導式発電機

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS17024

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2017/06/30

タイトル(英語): Five Millimeter Size Electromagnetic Generator Composed of MEMS Air Turbine with Ball Baring and Multilayer Ceramic Magnetic Circuit

著者名: 三島 海斗(日本大学大学院),工藤 和也(日本大学大学院),高藤 美泉(日本大学),齊藤 健(日本大学),内木場 文男(日本大学)

著者名(英語): Kaito Mishima(Nihon University),Kazuya Kudo(Nihon University),Minami Takato(Nihon University),Ken Saito(Nihon University),Fumio Uchikoba(Nihon University)

キーワード: 発電機|ＭＥＭＳ|磁性材料|積層セラミック|タービン|Generator|MEMS|Magnetic material|Multilayer Ceramic|Turbine

要約(日本語): 5mm角サイズの電磁誘導式発電機を提案する。ミリメートルサイズのMEMS発電機においてはコイル巻線の形成や磁性材料適用の難しさから電磁誘導式の採用は少ない。我々は、積層セラミック技術を用い，磁性材料の中に印刷巻線を形成し磁気回路を得た。また，MEMS工程を用いエアタービン部分を作製し，これらを組み合わせ発電機とした。タービン部分には微小軸受機を用い23,400rpmの回転と発電を確認した。

要約(英語): A Five millimeter size electromagnetic generator is proposed. The application of the electromagnetic type to millimeter size MEMS generators is limited because of the difficulty of forming the winding wire coils and introducing magnetic materials. Making use of multilayer ceramic technology we fabricated the magnetic circuit by forming printed winding wires inside the magnetic material. On the other hand, we fabricated the miniaturized air turbine by MEMS process. Combining the circuit and the turbine, the generator was obtained. Introducing a ball baring system to the air turbine, 23,400 rpm and electric power generation were observed.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,466 Kバイト