トライモード光導波路干渉計による化学センシング

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS18007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2018/07/12

タイトル(英語): Chemical sensing using a trimodal optical waveguide interferometer

著者名: 海老原 恵都(筑波大学),内山田 健(筑波大学),浅川 潔(筑波大学),鈴木 博章(筑波大学)

著者名(英語): Keito Ebihara(University of Tsukuba),Ken Uchiyamada(University of Tsukuba),Kiyoshi Asakawa(University of Tsukuba),Hiroaki Suzuki(University of Tsukuba)

キーワード: 光導波路|トライモード干渉計|屈折率|ＳＵ－８|電子線リソグラフィー|グルコース|optical waveguide|trimodal interferometer|refractive index|SU-8|electron beam lithography|glucose

要約(日本語): トライモード光導波路干渉計による化学センシングを試みた。ここでは、光導波路中の伝搬モードのうち、基底モードと2次励起モードの間の干渉を用いる。想定される挙動をシミュレーションにより確認した。また、ネガ型フォトレジスト（SU-8）を用い、電子線リソグラフィーによりデバイスの試作を行い、グルコース濃度の測定等の評価を行った。

要約(英語): A trimodal optical waveguide interferometer was used for chemical sensing. The interferometer uses the interference between the fundamental mode and the second order mode. Simulation was conducted to characterize anticipated output. The device was fabricated using a negative photoresist (SU-8) by electron beam lithography and performance of the device was characterized.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,525 Kバイト