長期pH計測に向けたストライプゲート型pHセンサの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS18008

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2018/07/12

タイトル(英語): Proposal of a stripe gate type pH sensor for the long-term measurement

著者名: 上村 渓介(静岡大学),大石 竜太(静岡大学),大多 哲史(静岡大学),平野 陽豊(静岡大学),二川 雅登(静岡大学)

著者名(英語): Keisuke Uemura(Shizuoka University),Ryuta Oishi(Shizuoka University),Satoshi Ota(Shizuoka University),Harutoyo Hirano(Shizuoka University),Masato Futagawa(Shizuoka University)

キーワード: 半導体型ｐＨセンサ|ＩＳＦＥＴ|長期連続計測|Semiconductor pH sensor|ISFET|Long-term continuous measurement

要約(日本語): ISFET型pHセンサは、医療や農業など様々な分野で使用されているが、計測中に特性変動があり、センサの出力値が減少する問題がある。そのため、計測結果が真値からずれてしまう。そこで、提案するセンサでは、従来のセンサのセンシング部にゲート電極をストライプ状になっている。このゲート電極に特定の電圧を印加し10時間の連続計測を行った。その結果、従来のセンサのドリフト量と比べ、約86%の低減を確認できた。

要約(英語): The ISFET type pH sensor has a problem to decrease the output during measurement. We propose a new sensor with a stripe gate electrode in the sensing part. To apply a specific voltage to the electrode, we successfully reduced the output fluctuation by 86% compared to conventional sensors.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,306 Kバイト