長期計測を目指したストライプゲート型pHセンサの最適動作条件の確立

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS19020

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2019/07/02

タイトル(英語): Establishment of Optimum Operating Conditions of a Stripe Gate Type pH Sensor for Long-term Measurement

著者名: 谷村 圭一(静岡大学),上村 渓介(静岡大学),大多 哲史(静岡大学),平野 陽豊(静岡大学),二川 雅登(静岡大学)

著者名(英語): Keiichi Tanimura(Shizuoka Univercity),Keisuke Uemura(Shizuoka Univercity),Satoshi Oota(ShizuokaUnivercity),Harutoyo Hirano(Shizuoka Univercity),Masato Hutagawa(Shizuoka Univercity)

キーワード: ｐＨセンサ|ＩＳＦＥＴ|ドリフト抑制|ストライプゲート型|長期計測|pH Sensor|ISFET|Suppression of Drift|stripe structure|Long-term measurement

要約(日本語): ISFET型pHセンサは、長期連続計測においてドリフトと呼ばれる出力が減少する問題が発生する。この解決のために、イオン感応膜の下にストライプ構造のゲート電極を有する新しいpHセンサを提案した。本研究において、ドリフト抑制のための最適動作条件出しを行った。この条件を用い、pH6.86の標準溶液を用いて1000時間の長期計測を行った。その結果、従来センサと比較して、104.5倍の長期計測を行うことが可能となった。

要約(英語): One of the most problems of the ISFET type pH sensor was a drift phenomenon, decreases the output voltage in continuous measurement. We proposed a novel pH sensor with stripe gate electrodes. The sensor achieved 104.5 times long-term measurement compared with the conventional sensor.

原稿種別: 日本語

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