誘電泳動集積法によって作製した半導体型カーボンナノチューブチャネルFET型ガスセンサのNO2ガス応答

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS19025

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2019/07/02

タイトル(英語): NO2 gas response of semiconducting carbon nanotube channel gas sensors fabricated by dielectricphoretic integration

著者名: 稲葉 優文(九州大学),行部 晃生(九州大学),尾崎 圭祐(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Masafumi Inaba(Kyushu University),Kosei Gyobu(Kyushu University),Keisuke Ozaki(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: カーボンナノチューブ|誘電泳動|ＮＯ２|ガスセンサ|ＦＥＴ|carbon nanotube|dielectricphoresis|NO2|gas sensor|FET

要約(日本語): 健康を考える上で、大気中で簡便かつ高感度に検出できるNO2ガスセンサが望まれている。本グループでは半導体カーボンナノチューブ（s-CNT）を誘電泳動法で集積した、抵抗型ガスセンサを報告してきた。しかし、この感度は大気中のNO2ガス濃度数十 ppbの観測には不十分だった。 今回、誘電泳動集積s-CNTチャネルをもつ電界効果トランジスタ型ガスセンサを作製し、ゲート電圧を適切に印加することでNO2応答性向上を確認したので報告する。

要約(英語): NO2 gas sensing in atmosphere is important for health. We report the sensitivity of NO2 gas of semiconducting carbon nanotube (CNT) channel field-effect transistors. The CNTs were easily assembled by dielectrohpresis. The sensitivity was improved by applying optimal gate bias.

原稿種別: 日本語

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