Micro-TAS用脱着可能な水晶複素容量センサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS20015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Development of a detachable quartz complex capacitive sensor for Micro-TAS

著者名: 櫻井 洋輔(新潟大学),灰野 貴晶(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Yosuke Sakurai(Niigata University),Takaaki Haino(Niigata University),Masayuki Sougawa(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University)

キーワード: 容量センサ|浮遊電極|Ｍｉｃｒｏ－ＴＡＳ|水晶発振回路|フリンジ電界|capacitive sensor|floating electrode|Micro-TAS|quartz oscillation circuit|fringing electric field

要約(日本語): 平面展開型電極をコンデンサとして水晶振動子へ直列に接続した容量センサは、フリンジ電界が広がる課題を抱えている。本研究では、マイクロ流体チップのセンシングのために平面展開型電極上部に浮遊電極を持つ脱着可能なモデルチップを置き、電界を集中させたセンサの作製と評価を行った。その結果、約2倍の感度を得ることに成功した。

要約(英語): In this paper, we have fabricated and evaluated a detachable quartz complex capacitive sensor for Micro-TAS. This sensor can measure dielectric and conductive properties of liquids within a micro channel by using a floating electrode._x000D_ As a result, the sensitivity is about 2 times higher than that without the floating electrode.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,515 Kバイト