ストライプゲート型pHセンサのpH値の違いによるドリフト抑制効果の検証

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS20016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2020/07/06

タイトル(英語): Verification of a Drift Suppression Effect by a Stripe-gate pH Sensor in Various pH Solutions

著者名: 齋藤 俊介(静岡大学),谷村 圭一(静岡大学),上村 渓介(静岡大学),大多 哲史(静岡大学),平野 陽豊(静岡大学),二川 雅登(静岡大学)

著者名(英語): Shunsuke Saito(Shizuoka University),Keiichi Tanimura(Shizuoka University),Keisuke Uemura(Shizuoka University),Satoshi Ota(Shizuoka University),Harutoyo Hirano(Shizuoka University),Masato Futagawa(Shizuoka University)

キーワード: ＩＳＦＥＴ|ドリフト抑制|ストライプゲート型ｐＨセンサ|長期計測|ISFET|Suppression of Drift|Stripe-gate pH sensor|Long-term measurement

要約(日本語): 農業分野において土壌の長期オンサイト計測が求められているが、出力電圧が低下するドリフト問題があり、ISFET型pHセンサによる長期計測が困難であった。これまで、pH感応膜と半導体基板との間にストライプ状の電極を有するストライプゲート型pHセンサの提案を行い、中性溶液での長期計測を実現した。本研究では、酸性やアルカリ性の溶液におけるドリフト抑制効果の検証を行い、中性と同様の良好な特性を得ることに成功した。

要約(英語): A long-term on-site measurement of soil is required in the agricultural field. Although there is an output voltage dropping problem. Its name is a drift. _x000D_ In this study, we verified the drift suppression effect in acidic and alkaline solutions, and succeeded in obtaining good characteristics like neutral._x000D_

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,204 Kバイト