有機‐無機複合超薄膜多層構造の湿式作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS3-2

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): Fabrication of Multilayer Structures of Organic-Inorganic Hybrid Ultra Thin Films by Wet Process

著者名: 前原 佳紀(慶應義塾大学),竹中 忍(慶應義塾大学),小林 太一(ブリヂストン),吉川 雅人(ブリヂストン),白鳥 世明(慶應義塾大学)

著者名(英語): Yosiki Maehara(Keio University),Shinobu Takenaka(Keio University),Taichi Kobayashi(Bridgestone Corporation),Masato Yoshikawa(Bridgestone Corporation),Seimei Shiratori(Keio University)

キーワード: 有機?無機多層構造|交互吸着法ポリ?p?フェニレンビニレン|ポリ?p?フェニレンビニレン|酸化チタン超薄切片法|organic-inorganic multilayer|layer-by-layer adsorption method|surface sol-gel process|poly(p-phenylene vinylene)|titanium oxideultramicrotomy

要約(日本語): 膜厚を“ナノスケール”で制御できる湿式薄膜作製技術により有機半導体と無機半導体を組み合わせた超薄膜多層構造の作製を試みた。有機層は、導電性高分子poly(p-phenylene vinylene)を含む電子供与体として交互吸着法により、無機層は、酸化物半導体TiO₂から成り電子受容体として表面ゾル?ゲル法により作製した。水晶振動子微量天秤法による薄膜成長のその場観察からは、有機層と無機層の形成がどちらも再現性よく進行する事が分かった。透過型電子顕微鏡による多層構造の断面観察では、有機層・無機層共に”ナノスケール”で制御された均一で密な有機?無機多層構造が作製できた事を確認した。又、多層構造の光起電力効果について検討した。交互吸着法と表面ゾル?ゲル法を組み合わせた湿式作製法は、光電素子に応用可能な有機?無機複合超薄膜多層構造を形成する有望な薄膜作製技術と謂える。

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