熱処理の違いによる交互吸着膜の電気特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS3-3

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): Evaluation of electrical characteristics of the layer-by-layer self-assembled films after the various annealing treatment

著者名: 山形 由紀(矢崎総業),白鳥 世明(慶應義塾大学)

著者名(英語): Yoshinori Yamagata(Yazaki Co.),Seimei Shiratori(Keio University)

キーワード: 交互吸着膜|熱処理残留水分|残留水分|形態変化|layer-by-layer self-assembled films|annealing treatment|resistivity|remaining moisture|change of morphology

要約(日本語): ポリアリルアミン塩酸塩(PAH)とポリアクリル酸(PAA)の交互積層より、交互吸着自己組織化膜を作製した。様々な温度で熱処理を行ったのち、この交互吸着膜を金電極にて挟み込んだAu/(PAH/PAA)150/Auデバイスを作製し、電流?電圧測定を行った。その結果、熱処理温度の増加に伴い、デバイス内部の抵抗率が増加した。特に、交互吸着膜のTg付近での急激な抵抗率の変化も見られた。これは交互吸着膜中の残留水分の影響によるものと考えられる。同時に、Tgでのミクロブラウン運動による膜密度の変化も起因していると、FT-IR測定より確認した。

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