強誘電性高分子の分極電荷を用いた導電性高分子の自己集合

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS3-4

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): Self-Assembly of Conduting Polymers on Polarization Electric Charge of Ferroelectric

著者名: 中島哲 (芝浦工業大学),山本 敦史(芝浦工業大学),米井 健治(芝浦工業大学)

著者名(英語): Tetsu Nakashima(Shibaura Inst. of Tech.),Atsushi Yamamoto(Shibaura Inst. of Tech.),Kennji Yonei(Shibaura Inst. of Tech.)

キーワード: ポリピロール|ポリフッ化ビニリデン原子間力顕微鏡|原子間力顕微鏡|polypyrrole|Poly Vinylidene Fluoride (PVDF)|conducting polymer|Atomic Force Microscope (AFM)

要約(日本語): 現在の無機半導体素子において、超微細加工技術がさらに進化したとしても、配線における伝播速度の制限による信号の遅れや、素子間があまりに接近することからくるお互いの電気的な干渉による雑音、大きな発熱量を考えると寸法の縮小にも限界が生じる。

このような工学的な背景から、本研究では無機材料Al、Cu等に変わる導電性高分子を用いた微細な配線を作製する技術の必要性を考えた上で、高分子の新しい薄膜プロセス技術として最近注目されている自己集合に着目して、微細パターニング技術への応用を検討した。

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