電荷平衡型回路を利用した高感度差動圧力センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS6-1

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): Development of High resolution differential pressure sensor using Charge Balancing Circuit

著者名: 宮崎 芳郎(矢崎総業),石居真 (矢崎総業),加藤博照 (矢崎総業),渡辺 正恭(矢崎総業)

著者名(英語): Yoshiro Miyazaki(Yazaki Technology Center,Yazaki corporation),Makoto Ishii(Yazaki Technology Center,Yazaki corporation),Hiroteru Kato(Yazaki Technology Center,Yazaki corporation),Masayasu Watanabe(Yazaki Technology Center,Yazaki corporation)

キーワード: 圧力センサ|静電容量|pressure sensor　|capacitance|charge balancing

要約(日本語): 従来、圧力センサとしての静電容量型センサは、ピエゾ抵抗型センサと比べて、高感度であることを特徴としてきた。従来開発されてきた圧力センサは、2.5Pa程度の分解能を持つものが一般的であったが、ダイアフラムを用いた差動構造で電荷平衡型回路を組み合わせることにより測定範囲0?5000Pa、分解能を最大で0.015Paまで感度を高めた差圧式圧力センサが可能となった。センサ出力は、比演算方式を用いデジタル化する事により非直線性の補正や非線形の温度補正を、マイコンにより補正を容易に実現した。又、一部の回路をPLDデバイスに置き換えることにより、温度補正に対して優位になった

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