層状リン酸ジルコニウムを用いたアンモニアガスセンサの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS6-4

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): The fabrication of ammonia gas sensor with layer zriconium phosphate

著者名: 櫛田慎哉 (慶應義塾大学),白鳥 世明(慶應義塾大学)

著者名(英語): shinya kushida(Keio University),seimei shiratori(Keio University)

キーワード: リン酸ジルコニウム|ガスセンサ無機高分子|無機高分子|層状物質水晶振動子|zirconium phosphate|gas sensor|ammonia|inorganic polymer|layerd materialquarts crystal microbalance

要約(日本語): α-リン酸ジルコニウムのシート状剥離微粒子溶液をキャスト法などで水晶振動子上に製膜することで多孔質ガスセンサ感応膜を作製し、これをアンモニアガスセンサに応用した。さらに剥離溶液のpH毎に作製した感応膜の比表面積を調べ、センサ応答特性との関係を測定した。

その結果、剥離溶液のpHが11になる時、最も比表面積が大きくなり、このpH領域で作製したセンサ感応膜が最もアンモニアセンサ応答量が大きくなった。また、pH11で作製したセンサ感応膜は低濃度領域であるアンモニア濃度1ppm以下でもセンサ応答が得られ、また、そのセンサ応答は濃度に線形応答していた。

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