サブミクロンペンタセンTFTの作製と動作解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC1-4

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): Fabrication and Analysis of Submicron Pentacene TFTs

著者名: 菰田 泰生(東京大学),喜多 浩之(東京大学),弓野健太郎 (東京大学),鳥海 明(東京大学)

著者名(英語): Taiki Komoda(University of Tokyo),Koji Kita(University of Tokyo),Kentaro Kyuno(University of Tokyo),Akira Toriumi(University of Tokyo)

キーワード: サブミクロン|有機薄膜トランジスタ|薄膜トランジスタ|短チャネル効果|submicron|organic|pentacene|TFT|short channel effect

要約(日本語): サブミクロンサイズのペンタセンTFTを作製しその動作解析を行った。サブミクロン領域ではチャネルの横方向にグレインが数個のみ並んでいることが確認された。微細化を進めるに従いチャネル長の逆数に比例して電流値は増大した。一方でL=0.5μm以下の領域では短チャネル効果が著しく大きなオフ電流が流れた。このことからサブミクロンサイズのペンタセンTFTにおいては短チャネル効果を抑えることが重要になるといえる。また電気特性測定の際に大きなヒステリシスが観察された。これは微細化の結果、強い横電界が印加され引き起こされたものであることが判明した。

PDFファイルサイズ: 2,012 Kバイト