新世紀の圧電デバイス

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC3-6

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): Piezoelectric Devices for 21st Century

著者名: 尾上 守夫(東京大学)

著者名(英語): Morio Onoe(Tokyo University)

キーワード: 圧電デバイス|水晶振動子表面実装|表面実装|弾性波|piezoelectric devices|quartz vibrator|SAW|SMD|elastic wave

要約(日本語): 変化のはげしい電子部品の中にあって、圧電デバイスは息の長い成長をとげている。特に水晶振動子は1933年古賀、高木先生によるR1板（AT）の発明以来、水晶固有の優れた特性を活かすという基本は変わってない。人工水晶と半導体に近縁の製造プロセスによる量産がそれを支えている。最近はモバイル分野の要請に応えて、高周波化、小型化、高性能化は著しいものがある。フィルタでは表面波（SAW)の応用がふえている。水晶基板も広く使われているが、電気機械結合係数を改善するために、新材料や多層構造の開拓も進んでいる。ナノ技術の発展により、立体加工の自由度がまし、センサーやアクチュエーターの応用も開けつつある。それらについて概観したい。

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