非対称電界を用いたEHDマイクロポンプの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC7-1

グループ名: 【C】平成14年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2002/09/02

タイトル(英語): Development of EHD micropump with asymmetric electric field

著者名: 鈴木 誠一(成蹊大学),前川 亮介(成蹊大学),仲宗根 崇(成蹊大学),岡本 弘樹(成蹊大学)

著者名(英語): Seiichi Suzuki(SEIKEI University),Ryosuke Maekawa(SEIKEI University),Tadashi Nakasone(SEIKEI University),Hiroki Okamoto(SEIKEI University)

キーワード: EHD|マイクロポンプ微細加工|微細加工|EHD|micropump|symmetric electrode|micromachining

要約(日本語): 　非対称な高電界によって発生するEHD効果を利用したマイクロポンプを試作し、特性の改善を図った。EHD効果は電界と流体の相互作用によって発生する流体力学的効果で、その原因は必ずしも明確ではない。ここでは非対称な構造を持つ微細加工電極で水溶液中に非対称高電界を印可することで、溶液中に一方向の流れを引き起こした。この流れは脈動がなく一定で、電界強度によって容易に制御することができる。しかし、微小化学分析系などに用いるマイクロポンプとしては流速が遅すぎる。そこで、ポンプを複数並列に配置することで流速を高めることを試みた。その結果、従来の10倍程度の流速が得られ、分析系などへの応用の可能性が示された。

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