硫酸鉛結晶薄膜の作製と感湿特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS1-5

グループ名: 【C】平成15年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2003/08/29

タイトル(英語): Crystalline Lead Sulfate Films Grown by Electron Beam Epitaxy and its Humidity-Sensitive Characteristics

著者名: 菅 禎彦(関東学院大学),佐々木 孝明(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)

著者名(英語): Yoshihiko Suga(Kanto Gakuin University),Takaaki Sasaki(Kanto Gakuin University),Minoru Ootsu(Kanto Gakuin University),Tomoyasu Hiramatsu(Kanto Gakuin University),Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Noriyuki Nanba(Kanto Gakuin University)

キーワード: 硫酸鉛|薄膜|湿度センサ|湿度応答|母体制御|Lead Sulfate |Thin　Film|Humidity sensor|Humidity response|Compositional control

要約(日本語): ソース組成比PbSO4+xPbO(0≦x≦1)を用いた電子ビーム蒸着法による硫酸鉛結晶薄膜の作製では、基板温度300℃、加速電圧20kv、Emission current　58mAの条件下でPb1+ySO4+z (y=0 or 1, 0≦z≦1)の組成を持つ薄膜が得られた。硫酸鉛薄膜はPbSO4 あるいはPb2SO5を形成し、これらの薄膜組成はソースの組成により変化した。ほぼPbSO4 (y=0,z=0)の組成、Pb2SO5(y=1,z=1)、およびそれらの混合薄膜相がそれぞれ、x=0、x=1、およびx=0.5付近の条件下で形成された。

これらの薄膜で感湿特性を測定した結果、PbSO4結晶薄膜は疎水性の特性が得られ、Pb2SO5結晶薄膜では親水性の特性が得られた。また、硫酸鉛結晶薄膜は湿度応答の観点からもっとも有望な湿度センサの一つである。

PDFファイルサイズ: 1,806 Kバイト