レーザ光反射像分布を用いた表面性状の計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS5-6

グループ名: 【C】平成15年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2003/08/29

タイトル(英語): Measurement of Surface Properties using Intensity Distribution of the Reflected Laser Light Pattern

著者名: 稲荷 隆彦(近畿大学),青木 伸也(近畿大学)

著者名(英語): Takahiko Inari(Kinki Unversity),Nobuya Aoki(Kinki Unversity)

キーワード: 表面性状|表面欠陥検査|レーザ|回折|画像処理|Surface Properties|Inspection of Surface Defect|Laser|Diffraction|Image Processing

要約(日本語): 金属などの表面にレーザ光を反射させ,反射を直接観測すると,表面の微細構造による回折を含む反射像がみられる。この像の強度分布は表面粗さにより決定付けられる。反射像のマクロな強度分布と表面粗さの統計的な性質との関連性を調べ,表面粗さのオンライン計測の実現を目標としている。強度分布全体の積分値が,表面粗さと相関性があることを報告し,その理論的な根拠を検討する。また強度分布がガウス分布に近いことから,分布の広がりとの関連も検討する。またこれらの結果から,表面欠陥の形状の識別への適用も検討する。

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