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超微細集積デバイス調査専門委員会の活動報告
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カテゴリ: 部門大会
論文No: TC1-1
グループ名: 【C】平成15年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集
発行日: 2003/08/29
タイトル(英語): Activity Report of the Investigation Committee on Ultra-Small Integrated Devices
著者名: 鳳紘一郎 (東京大学)
著者名(英語): Koichiro Hoh(The University of Tokyo)
キーワード: 超微細|集積デバイス|集積回路|CMOS|エレクトロニクス|Ultra-Small|Integrated Devices|Integrated Circuits|CMOS|Electronics
要約(日本語): 集積エレクトロクスにおける微細化と集積度の向上は留まることなく進展しているが、数年後には現状の技術が大きな壁に遭遇することが予測されている。これを打破する革新的技術の開発のため、超微細集積デバイス調査専門委員会では、現状のエレクトロニクスの発展を支える超微細構造デバイスとこれを実現するデバイス作製の最先端技術について、進展状況を把握すると共に、それぞれの技術の持つ課題と将来展望について調査を行った。これらの技術はデバイス・プロセス技術から回路応用技術まで広範な領域に渡っており、その相互関連を明確にすると共に、応用技術への展開や10年以上先の将来技術の展望についても調査を行った。
PDFファイルサイズ: 644 Kバイト
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