走査プローブによる表面電荷を用いた導電性細線に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS1-4

グループ名: 【C】平成16年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2004/09/02

タイトル(英語): Research on the conductive thin line using the surface electric charge by the scanning probe

著者名: 滝沢 慎司(芝浦工業大学),石濱孝規 (芝浦工業大学),米井 健治(芝浦工業大学)

著者名(英語): Shinji Takizawa(Shibaura Institute of Technology),Takanori Ishihama(Shibaura Institute of Technology),Kenji Yonei(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: ポリピロール|表面電荷

要約(日本語): 　従来、高分子は優れた絶縁体として用いられてきた。その高分子も、研究により一部の高分子が導電体となることがわかっている。現在、導電体の材料は主に銅などの金属であるが、パターニングなどの配線において、分子レベルで導電性をもつ高分子は、微細化に対して、本質的に向いていると考えられる。そこで本研究では、パターニングへの応用を考慮し、この導電性高分子であるポリピロールによる細線を、SiO2上へ作製することを試みる。

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