光干渉法を用いたLCD導光板・金型の非接触計測技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS4-3

グループ名: 【C】平成16年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2004/09/02

タイトル(英語): Deveropment of Noncontact Measurement Techniques for LCD Light Guide and Metal Mold using Interferometry

著者名: 西山 陽二(富士通研究所),塚原 博之(富士通研究所),布施 貴史(富士通研究所),高橋 文之(富士通研究所)

著者名(英語): Nishiyama Yoji(Fujitsu Laboratories),Tsukahara Hiroyuki(Fujitsu Laboratories),Fuse Takashi(Fujitsu Laboratories),Takahasi Humiyuki(Fujitsu Laboratories)

キーワード: LCD|導光板|金型|干渉|位相シフト法|LCD|light guide|metal mold|interfermetry|phase shifting

要約(日本語): 　2波長位相シフト法の計測精度を改善し、LCD導光板、およびその金型に適用可能な計測技術を開発した。LCDの光源として利用される導光板の品質保証には、マイクロメートルオーダの外形寸法のほか、ナノメートルオーダの表面粗さ情報が必要である。この外形寸法と表面粗さとを非接触で、同時計測可能な手法が望まれる。表面粗さ計測では、光干渉を用いる手法がよく利用されるが、計測レンジが数100nmに制限される問題がある。筆者らは、計測レンジが拡大可能な2波長位相シフト法の計測精度を改善する手法を開発し、従来の光干渉の精度を維持したまま、計測レンジを10μmまで拡大することで、外形寸法と表面粗さの非接触、同時計測を可能にした。

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