カーボンナノチューブFETの作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC10-1

グループ名: 【C】平成16年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2004/09/02

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Carbon Nanotube FETs

著者名: 水谷孝 (名古屋大学),大野雄高 (名古屋大学)

キーワード: カーボンナノチューブ|FET|ラマン散乱|光電流|カイラリティ|carbon nanotube|FET|Ramanscattering|photocurrent|chirality

要約(日本語): カーボンナノチューブFETに関して、位置制御作製技術、歩留まり、新規ピーポッドFETの特性、ラマン散乱による評価、光伝導特性とこれを用いたカイラリティの同定、KFMを用いた電位分布測定等について述べる。

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