超微細・低電力デバイス集積技術調査専門委員会活動報告

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC1-1

グループ名: 【C】平成18年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2006/09/05

タイトル(英語): Activity Report of the Investigation Committee on Ultra-Small and Low-Power Integrated Devices

著者名: 岩井 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Hiroshi Iwai(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 超微細|低電力|集積回路|CMOS|エレクトロニクス|Ultra-Small|Low-Power|Integrated Circuits|CMOS|Electronics

要約(日本語): 大規模集積回路は、現在、100 nm以下の超微細寸法の時代に入り、

高密度集積、微細化の道を進んでいる。この驚異的な発展を支えて

いるのは、超微細寸法のデバイス構造の開発とデバイス性能の向上、

その超微細構造を実現する作製技術である。しかしながら数年後に

は現在の技術が限界に達すると予測されており、新しいデバイスを

含む革新的な研究開発が必須となっている。超微細・低電力デバイ

ス集積技術調査専門委員会では、量子効果も視野に入ったこの分野

での新しい研究開発の動向を調査し、また材料・プロセス技術から

デバイス構造・回路技術にわたる広範な領域の研究開発における相

互関連を明確化し、将来技術に関する詳細な検討を行った。

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