グラファイトナノファイバー電極を用いた冷陰極マグネトロン

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS1-1

グループ名: 【C】平成19年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2007/09/04

タイトル(英語): Cold Cathode Magnetron using Graphite Nano Fibers Electrode

著者名: 塚田 敏行(パナソニック半導体ディスクリートデバイス)

著者名(英語): Toshiyuki Tsukada(Panasonic Semiconductor Discrete Devices Co.,Ltd.)

キーワード: フィールドエミッション|グラファイト|カーボンナノチューブ|気相成長|マグネトロン|field emission|graphite|carbon nano tubes|CVD|magnetron

要約(日本語): 　従来の熱陰極ではなく、電界電子放出する冷陰極の一つであるグラファイトナノファイバー（以後GNFs）を陰極としたマグネトロンの設計と試作を行った。冷陰極マグネトロンは、熱陰極では必要なフィラメント電力が不要であるため、省エネルギー化が期待される。GNFsは直径数百umの炭素繊維の一種であり、熱CVD法を用いて一酸化炭素を原料として金属基板に成膜した。冷陰極マグネトロンは周波数5.8GHzであり、Duty0.001のパルス電源で15分間のマイクロ波発振を確認した。

PDFファイルサイズ: 3,765 Kバイト