スパイラルインダクタ設計におけるダミーメタルの配置の提案

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC1-4

グループ名: 【C】平成20年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/20

タイトル(英語): A proposal of the layout pattern for metal dummy fills of an on-chip spiral inductor

著者名: 荻野 達也(中央大学),杉本 泰博(中央大学)

著者名(英語): Tatsuya Ogino(Chuo University),Yasuhiro Sugimoto(Chuo University)

キーワード: インダクタ|ダミー|inductor|dummy

要約(日本語): 高周波回路で多用されるスパイラルインダクタの周囲にダミーメタルが配置されると、配線基板間容量の増加およびインダクタのつくる磁界が侵入することで生じるうず電流損の増加により、スパイラルインダクタのQ値を劣化させてしまうことが懸念されている。この影響はQ値の高いインダクタほど顕著になると考えられる。スパイラルインダクタの特性を損なわず高周波回路で用いるには、ダミーメタルがスパイラルインダクタに及ぼす影響を明確にし、適切にダミーメタルを配置する必要がある。本研究ではシミュレーションおよび実測によりダミーメタルがスパイラルインダクタに与える影響を検討したので報告する。

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