短パルスレーザープロセシングによる新しいナノ修飾技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC8-3

グループ名: 【C】平成20年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/20

タイトル(英語): New nanofabrication technique by short-pulsed laser processing

著者名: 中田 芳樹(大阪大学),宮永 憲明(大阪大学)

著者名(英語): Yoshiki Nakata(Osaka University),Noriaki Miyanaga(Osaka University)

キーワード: フェムト秒レーザー|レーザーアブレーション|ナノ加工|ナノテクノロジー|干渉ピコ秒レーザー|femtosecond laser|laser ablation|nano processing|nano technology|interferencepicosecond laser

要約(日本語): 干渉した超短パルスレーザーを用いて薄膜を加工した場合、従来にない特徴的な表面ナノ構造を形成する事が出来る。本論文では、ナノウォータードロップやナノクラウン、多重周期構造等の作製手法について概説する。

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