レーザマイクロ・ナノ加工とその産業応用の動向についての調査結果概要報告

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC8-6

グループ名: 【C】平成20年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/20

タイトル(英語): Review for laser-induced micro- and nano-fabrication

著者名: 新納 弘之(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Hiroyuki Niino(AIST)

キーワード: レーザ応用|産業応用|laser prosessing|industrial application

要約(日本語): レーザマイクロ・ナノ加工に関する国内外の学術分野の進展、ならびにその産業応用の動向についての調査結果を報告する。

PDFファイルサイズ: 2,430 Kバイト