薄膜SOIトランジスタにおうけるキャリア輸送

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC2-2

グループ名: 【C】平成21年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/03

タイトル(英語): Carrier Transport in Ultra-thin body SOI MOSFETs

著者名: 内田 建(東京工業大学)

著者名(英語): Uchida Ken(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 移動度|SOI|mobility|SOI

要約(日本語): 本稿では、薄膜SOIの移動度特性について論じる。

PDFファイルサイズ: 974 Kバイト