半導体/絶縁膜界面制御による有機TFTの高信頼化

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC3-3

グループ名: 【C】平成21年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/03

タイトル(英語): Highly-reliable Organic TFTs by Control of Semiconductor-insulator Interface

著者名: 安田亮一(ソニー),平井暢一(ソニー),八木巖(ソニー),野田真(ソニー),勝原真央(ソニー),野本和正(ソニー),三成剛生(JST-CREST／理化学研究所),塚越一仁(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Ryoichi Yasuda(Sony Corp. Advanced Materials Laboratories),Nobukazu Hirai(Sony Corp. Advanced Materials Laboratories),Iwao Yagi(Sony Corp. Advanced Materials Laboratories),Makoto Noda(Sony Corp. Advanced Materials Laboratories),Mao Katsuhara(Sony Corp. Ad)

キーワード: 有機TFT|有機半導体|界面|信頼性|organic TFTs|organic semiconductor|interface|reliability

要約(日本語): 有機TFTの高信頼性化は，実用上最も重要な課題の一つである．特に定電圧駆動下での，しきい値電圧の変化は有機TFTにおいて顕著に見られる問題である．我々は有機半導体とゲート絶縁膜の界面部分のみに，有機物であるパリレン薄膜層を選択的に形成することで，界面におけるキャリアトラップを低減させ，有機TFTの信頼性を向上させることに成功した．その他，有機TFTの高信頼性化に関する話題について講演する．

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