スプライン関数を用いたICリードフレームの外観検査

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC8-2

グループ名: 【C】平成21年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/03

タイトル(英語): Visual Inspection of IC Lead Frame by using Spline Function

著者名: 重森 清史(熊本県産業技術センター),菊野 敏博(熊本防錆工業),井上 高宏(熊本大学)

著者名(英語): kiyoshi Shigemori(Kumamoto Industrial Research Institute),toshihiro Kikuno(KUMAMOTO BOUSEIKOUGYO CO,.LTD.),takahiro Inoue(Kumamoto University)

キーワード: 画像処理|外観検査|スプライン関数|IC リードフレーム|Image Processing|Visual Inspection|Spline Function|IC Lead Frame

要約(日本語): ICリードフレームの外観検査において、しみ等の低コントラスト欠陥検査が問題となっている。しみ等の欠陥は、ICリードフレームの製造過程で生じる正常品のばらつきの範囲に、欠陥の濃度分布が重なってしまうため、通常用いられる標準品との比較検査では検出が困難である。そこで、本研究では、スプライン関数を用いて検査対象ごとに生成した擬似的な標準画像と比較検査する方法を提案し、実験によりその有効性を確認した。

PDFファイルサイズ: 4,480 Kバイト