薄膜のむらの視覚化手法

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC8-4

グループ名: 【C】平成21年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2009/09/03

タイトル(英語): A Visualization Method of Uneven Areas on Thin Films

著者名: 柏木 利幸(徳島県立工業技術センター),檜垣 真二(浜松メトリックス),宮脇 俊幸(浜松メトリックス),大恵俊一郎 (四国大学)

著者名(英語): toshiyuki Kashiwagi(Tokushima Prefectural Industrial Technology Center),shinji Higaki(Hamamatsu Metrix co.,ltd.),toshiyuki Miyawaki(Hamamatsu Metrix co.,ltd.),shunichiro Oe(Shikoku University)

キーワード: むら|薄膜|カラーヒストグラム|頻度|unevenness|thin film|color histogram|frequency

要約(日本語): フィルタや平面ディスプレイ材料、半導体材料などに形成された薄膜のむらの視覚化手法を提案する。これらの対象製品には膜厚の高い均一性が要求されるが、目視での検査は極めて困難なものである。提案手法は、最適な分光分布を持つ光源と高感度のラインセンサカメラを用いて画像を取得し、これまで開発してきた「カラーヒストグラムによる色の不均一部分検出手法」を基に処理を行い、膜厚のむらの強度分布を視覚的に表示する。

PDFファイルサイズ: 4,652 Kバイト