照度差ステレオ法による微細構造計測時の精度に関する検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: GS10-6

グループ名: 【C】平成22年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/02

タイトル(英語): On Accuracy of Microstructure Measurement by Photometric Stereo

著者名: 吉野 博彦(佐賀大学),福本 尚生(佐賀大学),古川 達也(佐賀大学),伊藤 秀昭(佐賀大学),和久屋 寛(佐賀大学),相知政司 (千葉工業大学)

著者名(英語): Hirohiko Yoshino(Saga University),Hisao Fukumoto(Saga University),Tatsuya Furukawa(Saga University),Hideaki Itoh(Saga University),Hiroshi Wakuya(Saga University),Masashi Ohchi(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 照度差ステレオ法|外観検査|3次元計測3次元計測|Photometric stereo|Appearance inspection|3D measurement

要約(日本語): 工業製品（電子部品）の生産において,外観検査は生産ラインの品質や歩留まりの向上に重要な役割を果たす。これを安価に行う手段の一つとして,カメラと複数の光源だけで三次元的な計測が可能な照度差ステレオ法の応用を検討している。三次元的な外観検査への応用のためには,本手法で計測可能な規模や形状についての検証が必要である。本研究では,本手法を用いて平面計測を行い, 外観検査への適応が可能となる範囲を明確にした。

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