干渉フェムト秒レーザー加工における位相制御による形状変化

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC3-4

グループ名: 【C】平成22年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/02

タイトル(英語): Structure change by phase shift in interfering femtosecond laser processing

著者名: 中田 芳樹(大阪大学),桃尾 一馬(大阪大学),廣本 卓也(大阪大学),宮永 憲明(大阪大学)

著者名(英語): Yoshiki Nakata(Osaka University),Kazuma Momoo(Osaka University),Takuya Hiromoto(Osaka University),Noriaki Miyanaga(Osaka University)

キーワード: フェムト秒レーザー|加工|干渉|周期構造|ナノマテリアルナノテクノロジー|femtosecond laser|processing|interference|periodic structure|nanomaterialnanotechnology

要約(日本語): 干渉フェムト秒レーザーを用いた物質表面・内部における周期構造の一括加工に関する研究を進めている。この中で、ナノオーダー厚さの金属薄膜を加工する際に融解・気化・液化など熱プロセスを積極的に利用することで、独特のナノ構造が形成されることを発見した。さらにビーム間の位相・強度比をコントロールすることで、より複雑・多重化された周期ナノ構造が形成されることを見いだした。

PDFファイルサイズ: 2,661 Kバイト