ベッセルビームによるレーザーマイクロ加工

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC3-6

グループ名: 【C】平成22年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/02

タイトル(英語): Laser micro machining with a Bessel beam

著者名: 河野正道 (九州大学),森 竜宏(九州大学),乙藤拓人 (九州大学),高田 保之(九州大学),松岡 芳彦(実用技術研究室)

著者名(英語): masamichi kohno(Kyushu university),tastuhiro mori(Kyushu university),takuto otofuji(Kyushu university),yasuyuki takata(Kyushu university),yoshihiko matsuoka(Practical Technology Laboratory Inc.)

キーワード: レーザー|マイクロ加工|ベッセルビーム|穴あけ加工|Laser|Micro machining|Bessel beam|Drilling

要約(日本語): レーザー加工の問題点のひとつとして,光を波長程度の微小なスポット径にまで集光すると焦点深度も極端に浅くなることから焦点距離の厳密な制御が必要になることが挙げられる.我々は微小集光スポット径を長い伝播距離に渡って維持できる性質,すなわち深い焦点深度を有するベッセルビームに着目し,マイクロ穴あけ加工を中心にこれらの問題の解決を図ってきたので,研究結果を紹介する.

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