時空間ビーム整形によるフェムト秒レーザガラス内部３次元加工

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC3-8

グループ名: 【C】平成22年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/02

タイトル(英語): Spatiotemporal Beam Shaping of Femtosecond Laser for 3D Microfabrication inside Glass

著者名: 杉岡 幸次(理化学研究所),チェン ヤ(上海光学精密機械研究所),シュージージャン (上海光学精密機械研究所),緑川 克美(理化学研究所)

著者名(英語): Koji Sugioka(RIKEN -ASI),Ya Cheng(SIOM),Zhizhan Xu(SIOM),Katsumi Midorikawa(RIKEN -ASI)

キーワード: フェムト秒レーザ|ビーム整形|三次元加工|ガラス|femtosecond laser|beam shaping|3D microfabrication|glass

要約(日本語): フェムト秒レーザの多光子吸収を利用することにより、透明材料内部を３次元に加工できることが知られている。これによりガラス内部に光導波路やマイクロ流体構造を形成する研究が広く行われている。しかしこの場合、形成された構造の断面形状が、縦方向に著しく延びた楕円形になることが問題となっている。本講演では、フェムト秒レーザ光を時間および空間的に整形することにより、真円に近い断面形状を有する３次元内部構造を形成する技術を紹介する。

PDFファイルサイズ: 3,567 Kバイト