空洞共振器を用いた誘電体基板及び薄膜のミリ波帯における誘電特性測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: TC16-2

グループ名: 【C】平成22年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2010/09/02

タイトル(英語): Measurements of Complex Permittivity for Dielectric Plate and Film at Millimeter Wave Frequencies by a Cavity Resonator

著者名: 吉川 博道(京セラ),中山 明(京セラ)

著者名(英語): Hiromichi Yoshikawa(Kyocera Corporation),Akira Nakayama(Kyocera Corporation)

キーワード: ミリ波|測定方法|空洞共振器|複素誘電率|Millimeter wave|Measurement method|Cavity resonator|Complex permittivity

要約(日本語): 　試料を導体端面に装荷した空洞共振器を用いたミリ波帯における誘電体基板および薄膜の誘電特性測定方法を提案する。本報告では、誘電体基板および薄膜の誘電率測定原理を示したのち、薄膜試料に対する比誘電率の測定精度の検討を行う。最後に、28GHzにおける誘電体薄膜試料の比誘電率および誘電正接の測定結果を示し、マイクロ波帯からの周波数特性についても報告する。

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