プラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: PS1-7

グループ名: 【C】平成23年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/07

タイトル(英語): Development of Diaphragm for Environmental Cell Transmission Electron Microscope by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

著者名: 山﨑 佳代(近畿大学),松谷 貴臣(近畿大学),川﨑 忠寛(名古屋大学)

著者名(英語): Kayo Yamasaki(Kinki University),Takaomi Matsutani(Kinki University),Tadahiro Kawasaki(Nagoya University)

要約(日本語): 本研究は、金ナノ触媒の反応機構を観察をするために必要な、環境セル型透過電子顕微鏡システム(E-TEM)に用いる高強度かつ軽元素で構成される隔膜の開発を目的とする。従来のアモルファスカーボン膜に代わるケイ素等を主成分とする隔膜を、高電圧短パルス電源によるプラズマ援用化学気相成長法(PECVD法)を用いて作製した。各実験パラメーター(周波数、パルス電源、雰囲気圧力等)を変化させて作製した隔膜の評価を行ったことについて報告する。

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