長寿命酸化物電界放射型電子源の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: PS1-8

グループ名: 【C】平成23年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/07

タイトル(英語): Development of Long Life Time Metal Oxide Field Emitter

著者名: HANA NURUL(近畿大学),松谷 貴臣(近畿大学)

著者名(英語): HANA NURUL(Kinki University),Takaomi Matsutani(Kinki University)

キーワード: 酸化物電子源|低い仕事関数|Metal oxide electron source|Low work function

要約(日本語): 電界放射型電子源(FE源)は高電界を印加することにより固体表面近傍のポテンシャルバリアを薄くし、量子力学的トンネル効果を誘発することで空間に電子を取り出す。FE源に使用するチップには、印加する電圧を低減化するため、先端の曲率半径を数nmレベルにした仕事関数の低い材料が用いられる。本研究では、残留酸素の影響の少なく、仕事関数が低い金属酸化物エミッタを開発した。作製したエミッタの結晶形状をSEMにより評価し、超高真空下でエミッション電流を測定した。エミッタのカソードルミネッセンスはアノードに塗布した蛍光粉体により観測された。

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